超純水(読み)チョウジュンスイ

デジタル大辞泉 「超純水」の意味・読み・例文・類語

ちょう‐じゅんすい〔テウ‐〕【超純水】

純水から有機物シリカウイルスなどの不純物をできる限り除去した水。一般に水温25度で抵抗率が18Mオーム以上の水をさす。医療分野のほかLSI液晶ディスプレー半導体素子の洗浄など、幅広く利用される。

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 「超純水」の意味・わかりやすい解説

超純水
ちょうじゅんすい
ultrapure water

技術的な極限まで不純物を取り除いた純水。工業的には,原子力発電所蒸気発生器の給水,医薬品製造半導体の洗浄などに用いられる。原水の蒸留逆浸透膜による処理,イオン交換紫外線殺菌(→紫外線),限外ろ過など多数の工程を経て製造される。大規模集積回路 LSIなどの半導体製造において使用される超純水では,超純水の抵抗率,含まれる微粒子の粒径と数,生菌の数,有機物量,二酸化ケイ素(シリカ)や溶存酸素の量などの水質基準が定められ,不純物除去の技術開発が進められている。

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百科事典マイペディア 「超純水」の意味・わかりやすい解説

超純水【ちょうじゅんすい】

電解質,有機物,ちり微粒子などの不純物を極限まで取り除いた超高純度の水。半導体の製造,医薬品の製造などで使われる。蒸留,イオン交換法,逆浸透法などを組み合わせて製造。
→関連項目蒸留水

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