デジタル大辞泉 「超純水」の意味・読み・例文・類語 ちょう‐じゅんすい〔テウ‐〕【超純水】 純水から有機物・シリカ・ウイルスなどの不純物をできる限り除去した水。一般に水温25度で抵抗率が18Mオーム以上の水をさす。医療分野のほか、LSIや液晶ディスプレーの半導体素子の洗浄など、幅広く利用される。 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例
ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 「超純水」の意味・わかりやすい解説 超純水ちょうじゅんすいultrapure water 技術的な極限まで不純物を取り除いた純水。工業的には,原子力発電所の蒸気発生器の給水,医薬品の製造,半導体の洗浄などに用いられる。原水の蒸留,逆浸透膜による処理,イオン交換,紫外線殺菌(→紫外線),限外ろ過など多数の工程を経て製造される。大規模集積回路 LSIなどの半導体製造において使用される超純水では,超純水の抵抗率,含まれる微粒子の粒径と数,生菌の数,有機物量,二酸化ケイ素(シリカ)や溶存酸素の量などの水質基準が定められ,不純物除去の技術開発が進められている。 出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報
百科事典マイペディア 「超純水」の意味・わかりやすい解説 超純水【ちょうじゅんすい】 電解質,有機物,ちり微粒子などの不純物を極限まで取り除いた超高純度の水。半導体の製造,医薬品の製造などで使われる。蒸留,イオン交換法,逆浸透法などを組み合わせて製造。→関連項目蒸留水 出典 株式会社平凡社百科事典マイペディアについて 情報