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電界イオン顕微鏡 デンカイイオンケンビキョウ

デジタル大辞泉の解説

でんかいイオン‐けんびきょう〔‐ケンビキヤウ〕【電界イオン顕微鏡】

光線の代わりに高電圧で加速されたイオンビームを用いるイオン顕微鏡の一。1951年に米国のE=W=ミュラーが発明。鋭く尖った針状の試料を使い、その先端部分の原子配列を半球状のスクリーンに拡大投影して観察する。FIM(field ion microscope)。

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世界大百科事典 第2版の解説

でんかいイオンけんびきょう【電界イオン顕微鏡 field ion microscope】

フィールドイオン顕微鏡ともいい,FIMと略称される。光学顕微鏡電子顕微鏡は光や電子線の回折現象を利用して物体の拡大像を得るものであるが,これらとはまったく異なる原理による顕微鏡に放射型顕微鏡と呼ばれているものがある。これは試料表面からイオンあるいは電子を放射させ,それを加速直進させて蛍光板上に試料表面の拡大像を投射する型のものであり,熱電子放射型顕微鏡,電界電子放射型顕微鏡,電界イオン脱離型顕微鏡,電界イオン顕微鏡がこれに属する。

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大辞林 第三版の解説

でんかいイオンけんびきょう【電界イオン顕微鏡】

試料表面の原子配置を観察する装置。調べようとする物質を針状にして陽極とし、蛍光膜をつけた陰極との間に高電圧をかけ、管内に少量のヘリウムを入れる。陽極に衝突して生じたヘリウム-イオンが蛍光膜に直進して表面の拡大像をつくる。倍率約100万倍。イオン放射顕微鏡。

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