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シラン silane

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

シラン
silane

(1) 水素化ケイ素の総称。炭素をケイ素に置き換えた形の有機ケイ素化合物のこと。一般式 SinH2n+2 である。ケイ化マグネシウムに酸を作用させてつくる。 (2) 単にモノシラン SiH4 をさすこともある。無色の悪臭をもつ気体。沸点-112℃。爆発性があり危険,温めるか減圧すると発火する。塩素と激しく反応する。高純度アモルファスシリコンの製造に用いられる。

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デジタル大辞泉の解説

シラン(silane)

珪素(けいそ)水素化物の総称。一般式SinH2n+2で表され、モノシランジシラン・トリシラン・テトラシランなどがある。ふつうはモノシランをさし、悪臭をもつ無色の気体で有毒、空気中で自然発火する。半導体用の高純度珪素の製造原料。珪化水素水素化珪素シランガス

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百科事典マイペディアの解説

シラン

中部地方〜沖縄,中国の山中に自生しまた庭園にも植えられるラン科の多年草。基部には卵球形の偽球茎がある。葉は楕円形で長さ20〜40cm。5〜6月,高さ30〜70cmの花茎の先に,径約3cmの紅紫色の花を数個まばらにつける。
→関連項目ラン(蘭)

シラン

ケイ化水素Si(/n)H2(/n)(/+)2の総称。ケイ化マグネシウムMg2Siに酸を作用させると発生する。モノシランSiH4,ジシランSi2H6,トリシランSi3H8,テトラシランSi4H1(/0)などがある。
→関連項目シリコーンゴム

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世界大百科事典 第2版の解説

シラン【silane】

SinH2n+2の組成をもつ水素化ケイ素silicon hydrideの総称。狭義にはモノシランSiH4を指す。水素化ケイ素はケイ化マグネシウムMg2Siあるいは亜鉛やリチウムのケイ化物に酸を作用させると得られ,モノシラン,ジシランSi2H6,トリシランSi3H8,テトラシランSi4H10などが得られる。ペンタシランSi5H12,ヘキサシランSi6H14の生成も知られているが,まだ単離されていない。

シラン【Diego Silang】

1730‐63
スペインのフィリピン支配に抗した民族的英雄。フィリピンの主都マニラは,ヨーロッパで起きた七年戦争の余波で,1762年10月から64年5月までイギリスに占領された。長年スペイン支配に苦しんできたフィリピン人は,この事件を契機に各地でスペイン支配を打破する反乱を起こした。その中で最大のものは,ルソン島中西部パンガシナン地方での反乱(1762‐64)とルソン島北西部イロコス地方での蜂起で,シランは後者の反乱の指導者であった。

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大辞林 第三版の解説

シラン【silane】

水素化ケイ素の総称。一般式 SinH2n+2 普通は、モノシラン SiH4 をさす。これは、無色・刺激臭の気体で半導体用ケイ素の製造原料となる。

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世界大百科事典内のシランの言及

【集積回路】より

…(2)化学的膜形成chemical vapor deposition(略してCVD) 原料元素を含む気体化合物を特定の温度に保ったウェーハー周囲に流し,化学変化によってウェーハー上で微粒子状の固体物質を析出,沈着させ,堆積により膜を形成する方法である。通常はシランガスSiH4を原料とし,多結晶シリコン膜の場合には分解で,シリコン酸化膜の場合には酸素との反応で,またシリコン窒化膜の場合にはアンモニアガスとの反応により析出させる。最近は低い反応温度で膜形成を行う方法が開発され,ガス放電や紫外線で反応を促進させるプラズマCVDや光CVDが実用化されつつある。…

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